当前位置:主页 >>四川产品展示 >>四川PECVD60高真空管式炉

product center

产品中心

四川PECVD60高真空管式炉

  • 产品名称:四川PECVD60高真空管式炉
  • 产品分类:PECVD60高真空管式炉
  • 公司名称:上海微行炉业有限公司
  • 业务咨询:187-9686-2679
  • 江苏生产基地:江苏省昆山市开发区六时泾路28号
  • 添加时间: 20/11/24
产品详情
询盘
PECVD60高真空管式炉的主要特点:
1.气体预热——增加前端气体预热区,沉积速度更快,成膜效果更好;
2.AIO控制系统——加热控制、等离子射频控制、气体流量控制、真空系统控制集中于一个7英寸触摸屏进行统一集中调节和操控,协调控制——科探AIO控制系统;
3.管内压力自动平衡——管内压力实时监测,自动平衡管内压力。
4.智能气路通断——每路气体均可定时通断,省时省力;
5.射频功率和开关定时控制——预先设定好功率的大小和打开与关闭的时间,自动运行;
6.炉膛移动速度可调——根据实验要求,用户可设定炉膛左右移动的速度可距离;
7.整机结构融为一体——移动方便,避免分散组装的困扰。


网站地图 |

城市分站: 主站   江苏   山东   广东   河南   河北   四川   北京   浙江   广西   安徽   山西   辽宁   吉林   黑龙江   福建   江西   湖北   湖南   海南   贵州   云南   陕西   甘肃   青海   台湾   天津   上海   重庆   内蒙古   西藏   宁夏   新疆