PECVD60高真空管式炉的主要特点：
1.气体预热——增加前端气体预热区，沉积速度更快，成膜效果更好；
2.AIO控制系统——加热控制、等离子射频控制、气体流量控制、真空系统控制集中于一个7英寸触摸屏进行统一集中调节和操控，协调控制——科探AIO控制系统；
3.管内压力自动平衡——管内压力实时监测，自动平衡管内压力。
4.智能气路通断——每路气体均可定时通断，省时省力；
5.射频功率和开关定时控制——预先设定好功率的大小和打开与关闭的时间，自动运行；
6.炉膛移动速度可调——根据实验要求，用户可设定炉膛左右移动的速度可距离；
7.整机结构融为一体——移动方便，避免分散组装的困扰。
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